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沈陽高質量單晶硅多線切割機廠家

2021-06-20
沈陽高質量單晶硅多線切割機廠家

進一步提高效率、降低成本是硅材料今后發展的趨勢,也是產業化的要求。目前在半導體硅材料的加工領域引入了多線切割機,它高效的生產能力,諸多的優勢,決定了它的發展空間,但如何有效控制硅片應力,這是一個需要迫切解決的問題。從高質量單晶硅多線切割機與內圓切割機相比較出發,著重研究了線切割機在生產過程中的應力控制。 針對線切割機的工作原理,在切片過程中硅片因機械作用造成的刀痕、損傷、破損會導致產生包括機械應力和熱應力在內的應力,進而產生滑移位錯,當機械應力和熱應力在高溫處理過程中的作用超過晶體滑移臨界應力時,會產生硅片的破碎。對于翹曲度、彎曲度、總厚度誤差、中心厚度誤差等方面的質量控制,可以通過調整線張力、進給速度、冷卻劑流量等一系列工藝措施來達到目的及要求,它大大降低了生產成本,提高了生產效率。實驗證明沈陽單晶硅多線切割機切出的硅片的厚度和質量都很好的滿足了下一道工序的要求。

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分析沈陽單晶硅多線切割機放線系統張力錘的速度調節和張力控制的機械結構原理;針對高速運行時數字PID控制系統存在的問題,提出了一種自適應逆隨動控制系統結構,該系統以主電機為參考模型,是由一個系統辨識環節和一個自適應控制器環節構成,引入虛擬模型自適應地調整控制器,使放線電機與主電機具有類似的動態特性;樣機的實驗結果證明了該系統的可行性;對跟隨誤差進行了全面的分析并提出了提高控制高質量單晶硅多線切割機精度的方法.

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沈陽高質量單晶硅多線切割機在切割加工過程中,斷線是不可避免的問題之一,如何降低斷線率、及時監測斷線信息、減少斷線所造成的損耗及設備損傷,是國內外多線切割技術研發人員所關注的焦點,也是技術研發人員們一直想要攻關的重要項目。唐山晶玉科技股份有限公司技術研發人員針對這一問題深入實踐,反復試驗,終于攻克以上技術難題,從而實現多線切割技術的新突破。 新型系列多線切割機創新改進走線系統,8個走線導輪,大大降低了斷線率和耗材損耗。新型高質量單晶硅多線切割機具備斷線保護系統,通過內置自動感應系統,精準及時地判斷出斷線信號,斷線即可停機,以此保護羅拉免受損傷。此外,智能化的監控系統、精準的伺服電機系統、創新的排線自動感應系統等等,均為預防、監控斷線情況提供有力保障。

沈陽高質量單晶硅多線切割機廠家

沈陽高質量單晶硅多線切割機制造技術難度大,其核心技術長期被瑞士、日本等國家的極少數公司所壟斷,因而國內使用的多線切割機全部依賴進口.嚴重制約了我國半導體照明、光伏、集成電路制造等產業的發展。我國每年進口多線切割機約 200 臺以上,而且 隨著全球光伏產業的不斷發展,隨著我國光伏產業振興計劃的不斷提升.切片機市場需求將會大幅提高.因而,開發具有自主知識產權的高質量單晶硅多線切割機廠家及裝備.己成為突破國外技術封鎖和國內產業瓶頸的關鍵舉措。

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多線切割是目前Z非常先進的切片加工技術,其核心技術長期被瑞士,日本等國壟斷。傳統的高質量單晶硅多線切割機一般采用砂漿切割工藝進行加工,但這種方法生產效率不高、能耗大,同時由于砂漿粘度高導致切屑分離困難,從而造成對環境的污染。為避免這些缺點,近年來出現了另外一種切割工藝----金剛線多線切割工藝。多軸同步控制是多線切割機設備需要攻克的關鍵問題。傳統的單晶硅多線切割機廠家控制系統一般通過模擬量或者脈沖的方式控制,這種方式接線復雜,靈活性差,容易受到電磁干擾。而基于現場總線的伺服系統能很好地提高設備的靈活性、快速性和精確性。

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