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精密切割設備
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硅片多線切割機的技術解析

2020-07-05 16:17:50

       硅片是半導體和光伏領域的主要生產材料。硅片多線切割機是目前世界上比較先進的硅片加工工藝,它不同于傳統的刀鋸片、砂輪片等切割方式,也不同于先進的激光切割和內圓切割,它的工作原理是利用一根高速運動的鋼線帶動附著在鋼絲上的切割刃料對硅棒進行摩擦,從而達到切割效果。在運行的整個過程中,鋼線通過十幾個導線輪的引導,在主線輥上形成一張線網,而待加工工件通過工作臺的下降實現工件的進給。硅片多線切割技術與其他技術相比有:效率高,產能高,精度高等優點。是目前采用Z廣泛的硅片切割技術。


  多線切割機的出現是硅加工行業、太陽能光伏行業內的標志性革新,它替代了原有的內圓切割設備,所切晶片與內圓切片工藝相比具有彎曲度(BOW)、翹曲度(WARP)小,平行度(TAPER)好,總厚度公差(TTA)離散性小,刃口切割損耗小,表面損傷層淺,晶片表面粗糙度小等等諸多優點。


  太陽能硅片的多線切割機理就是機器導輪在高速運轉中帶動鋼線,從而由鋼線將聚乙二醇和碳化硅微粉混合的砂漿送到切割區,在鋼線的高速運轉中與壓在線網上的工件連續發生摩擦完成切割的過程。


  在整個切割過程中,對硅片的質量以及成品率起主要作用的是切割液的粘度、碳化硅微粉的粒型及粒度、砂漿的粘度、砂漿的流量、鋼線的速度、鋼線的張力以及工件的進給速度等。

多線切割機

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